TMAH,又称四甲基氢氧化铵,分子式为C4H13NO,是一种有机碱。有结晶体及水溶液两种形态,无色,有一定的氨味,具有强碱性。电子级TMAH主要在光刻技术中被用作显影液,广泛应用于集成电路(IC)、光电子(LED)、液晶显示(LCD)等高端电子行业。
在TMAH之前,人们通常使用KOH、NaOH等无机碱作为显影液,但是随着科学技术的发展,集成电路等电子行业对化学品杂质的要求越来越严苛。传统显影液在光刻工艺中,无机碱会残存大量的金属离子,限制了电路模板电子元器件数量的增加,直接影响到电子行业的进一步发展。而TMAH本身不含金属离子,并且在高温条件下分解无残留。因此,TMAH逐渐取代KOH、NaOH成为新一代的显影液原料。
目前国内TMAH主要的生产工艺为碳酸盐电解法,三甲胺和DMC正是该工艺的主要合成原料。随着下游TMAH行业需求的增长,华鲁恒升积极与行业内各优秀厂家建立合作,2021年华鲁恒升三甲胺投放量约占TMAH行业56%,产品质量及合作理念得到下游客户的广泛认可。
华鲁恒升三甲胺在2018年之前,主要销售渠道为氯化胆碱、甜菜碱、农药医药等传统行业;经过近几年精耕细作,目前已在高端电子化学品行业占有重要一席,这充分证明了我司三甲胺无论是产品质量还是服务能力均已达到业内领先水平。加之我司DMC顺利入市,我们相信,华鲁恒升三甲胺、DMC定能为TMAH行业发展提供双重保障!